用熱處理來增強(qiáng)氧化鋅中的氮摻雜
發(fā)布時間：2017-12-22 16:19 作者：氧化鋅
氧化鋅廠經(jīng)過熱處理來增強(qiáng)氧化鋅中的氮摻雜的研究工作現(xiàn)已打開。運(yùn)用光致電子順磁共振技能（EPR），并在空氣或許氮氣氛下在600-900溫度范圍內(nèi)退火，在運(yùn)用該方法制備的氮摻雜氧化鋅晶體中，調(diào)查到了氮受主的構(gòu)成。這一成果的原因是N在熱退火過程中替代為淺的施主雜質(zhì)。
固源化學(xué)氣相淀積法（SS-CVD）也可以用來氧化鋅的N摻雜。二水醋酸鋅（Zn（CH3COO）2·2H2O, solid）和（CH3COONH4, solid）別離作為固體源和N源。試驗成果的樣品顯示出P型導(dǎo)電性，空穴濃度為9.8×1017 cm?3，電阻率20Ωcm，空穴遷移率0.97cm2 /V s。
雖然上面報道說現(xiàn)已成功的獲得了N摻雜的氧化鋅薄膜，但也有相當(dāng)多的報道，作者沒有可以重復(fù)這些成果，即便選用相同的成長方式，相同的成長條件和相同的N源。因而，即便以為該陳述的成果表明是真實的p型氧化鋅，重現(xiàn)這些成果仍是一個大問題，而且這個問題必須得在氧化鋅應(yīng)用于光電子學(xué)，如同質(zhì)結(jié)LED和激光二極管（LDs）之前處理。最后，這個問題至少比及高效率注入的ZnO的p - n結(jié)才干處理。
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